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产品名称:工业检测显微镜

产品型号:MX61

产品报价:

产品特点:MX61工业检测显微镜紧凑的设计实现Z小的占地空间,切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备1412英寸载物台,能应对大型样本。

MX61工业检测显微镜的详细资料:

MX61工业检测显微镜总评

        Olympus MX61是对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用),可以应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。       

UIS 2物镜生成鲜明的观察影像

        UIS 2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容,可按照用途选用。另外,波像差控制带来的高品质,忠实于样本的中性色彩显示等,UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的卓越性能。

主要操作集中配置在前面板上

        在对比度的决定上起重要作用的亮度光圈(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和亮度光圈(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度,能够防止错误操作。

       

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

        为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150 mm,SEMI S8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。

       
                                                            倾斜镜筒示意图

安全快速的搬运晶圆

        MX61能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

       *自动晶圆搬送机AL110 详情请点击: http://www.recotech.com.cn/product_details.aspx?pid=48

       
                        自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合

 快速切换物镜,提高检查速度

        电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

           
                                                 电动物镜转换器示意图

变换物镜,亮度光圈(AS)也随之调节

        每次变换物镜时都需要调节亮度光圈(AS)的话,会影响检查速度。MX61对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),只要切换物镜就能以zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

       
                                                       AS自动调节示意图

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

        对应300 mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284 mm)。另外,内置离合器的载物台夹子,可切换粗调和细调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。

       
                                             内置离合器的载物台夹子 

使用数码照相机记录和保存数码影像

        三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

MX61工业检测显微镜规格

光学系统 UIS2光学系统(无限远校正)
机身 观察方法   明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
  反射/透射   反射/透射
  照明装置   机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
  照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
    透射照明 纤维光导
  对焦单元 电动/手动 手动
    行程 32 mm
    分辨率/微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm
    zui大样本高度 30 mm
  物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
    手动式 -
载物台 行程   8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范围189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm
观察筒 广角视场(视场数22) 倒置 双目/三目观察筒
    正像 三目观察筒
  超宽视场(视场数26.5) 倒置 三目观察筒
    正像 倾斜三目观察筒
附件单元 DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 509(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
重量 40 kg(标准组合)

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