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公司:北京元中锐科集成检测技术有限公司
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产品名称:半导体检测显微镜

产品型号:MX61

产品报价:

产品特点:半导体检测显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

MX61半导体检测显微镜的详细资料:

MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检测显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

  • 考虑了检查效率的设计

  • 鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

  • 软件方案

  • 支持缺陷检测的多种功能

  • 帮助实现多种观察的附件

考虑了检查效率的设计

主要操作集中配置在前面板上

前面板
前面板 
[1] 照明强度旋钮 
[2] 物镜倍率切换 
[3] 孔径光阑调节 

在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度,能够防止错误操作。

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

倾斜镜筒示意图
倾斜镜筒示意图

为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150 mm,SEMI S8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

内置离合器的载物台手柄
内置离合器的载物台手柄

对应300 mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284 mm)。另外,内置离合器的载物台手柄,可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。

鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

多种选择可实现卓越的成像性能

物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件,奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。

观察影像实例

明视场观察
明视场观察

暗视场观察
暗视场观察

微分干涉观察
微分干涉观察

荧光观察
半导体检测显微镜荧光观察

丰富的产品阵容,可按需选择

MPLAPON

平场复消色差透镜

MPLFLN

平场半复消色差透镜

MPLFLN-BD

明暗视场用平场半复消色差透镜

MPLFLN-BDP

反射偏振光用平场半复消色差透镜

LMPLFLN

长工作距离平场半复消色差透镜

LMPLFLN-BD

明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜

MPLN

平场消色差透镜

MPLN-BD

明暗视场用平场消色差透镜

SLMPLN

超长工作距离平场消色差透镜

LCPLFLN-LCD

液晶长工作距离平场半复消色差透镜

软件方案

实现数字成像

MX61L配备了PC界面,可以读取显微镜的电动功能。因此,捕获影像时可以自动保存物镜倍率,为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

支持缺陷检测的多种功能

快速切换物镜,提高检查速度

电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

变换物镜,孔径光阑(AS)也随之调节

AS自动调节示意图
AS自动调节示意图

每次变换物镜时都需要调节孔径光阑(AS)的话,会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),只要切换物镜就能以zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

帮助实现多种观察的附件

安全快速的搬运晶圆

自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合
自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合

MX61L能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

近红外线观察单元
近红外线观察单元

粘合衬垫
粘合衬垫

荧光观察单元

在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

荧光镜单元
荧光镜单元

荧光观察
荧光观察

透射照明单元

透射照明单元
透射照明单元

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